CuW スパッタ リング ターゲット高純度薄膜 Pvd コーティングのカスタムメイド

銅タングステン合金スパッタリングターゲットは粉末冶金によって製造されます。銅の含有量は主に 10% ～ 50% の範囲です。熱伝導性、電気伝導性、高温強度、延性に優れています。3000°C 以上などの非常に高い温度では、合金内の銅が液化して蒸発し、大量の熱を吸収して材料の表面温度が低下します。この種の材料は金属発汗材料とも呼ばれます。

タングステンと銅という2つの金属は相溶性がないため、銅タングステン合金はタングステンの低膨張性、耐摩耗性、耐食性と銅の高い電気伝導性、熱伝導性を兼ね備えており、さまざまな機械加工に適しています。銅タングステン合金は、銅とタングステンの比率の生産とサイズ加工に関するユーザーの要件に従って生産できます。銅タングステン合金は通常、粉末冶金プロセスを使用して、粉末バッチ混合、プレス成形、焼結溶浸を準備します。

リッチスペシャルマテリアルズはスパッタリングターゲットの製造を専門としており、お客様の仕様に応じて銅タングステンスパッタリング材料を生産することができます。詳細については、お問い合わせください。