アルミニウムスカンジウム合金

フィルムベースの圧電 MEMS (pMEMS) センサーおよび高周波 (RF) フィルター部品産業をサポートするために、Rich Special Materials Co., Ltd. によって製造されたアルミニウム スカンジウム合金は、スカンジウム ドープ窒化アルミニウム フィルムの反応性蒸着に特に使用されています。 。

薄膜圧電材料は、自動車、産業用、および個人用電子機器でますます使用されています。アプリケーションには、pmt ベースの指紋センサーとジェスチャ認識デバイス、MEMS マイク、共振器ベースの化学センサー、医療センサーが含まれます。さらに、5G ネットワーク アプリケーションの RF フィルターを実現するには、スカンジウムをドープした窒化アルミニウム膜の必要性がますます高まっています。同時に、アルミニウム・スカンジウム合金の量も増加しています。

Al Sc 合金の特性

合金全体にわたって一貫性の高い化学的均一性

チップと合金の寿命全体を通して、膜の化学的均一性が非常に一貫しています。

純度>99.9%、低酸素含有量、低重大汚染物質含有量

微細構造を厳密に制御して最高のスパッタリング性能を実現

真空鋳造、低接着性、低ばらつき、低粒度の完全に緻密な合金

リッチスペシャルマテリアル株式会社は、各種合金の製錬、ターゲットのカスタマイズ、研究開発サービスをサポートいたします。