ご存知のとおり、スパッタリングターゲットには多くの仕様があり、その応用分野も非常に広いです。分野によって一般的に使用されるターゲットの種類も異なります。今日はRSMのエディターでスパッタリングターゲットの応用分野の分類について学びましょう！
1、スパッタリングターゲットの定義
スパッタリングは、薄膜材料を製造するための主要な技術の 1 つです。イオン源で生成されたイオンを真空中で加速して集めて高速イオンビームを形成し、固体表面に衝突させます。イオンは固体表面の原子と運動エネルギーを交換し、固体表面の原子は表面が固体から分離され、基板表面に堆積します。衝突した固体はスパッタリングで成膜される薄膜を作製するための原料となり、これをスパッタリングターゲットと呼びます。
2、 スパッタリングターゲットの応用分野の分類
1. 半導体ターゲット
(1) 一般的なターゲット: この分野の一般的なターゲットには、タンタル/銅/チタン/アルミニウム/金/ニッケルなどの高融点金属が含まれます。
(2) 用途：主に集積回路の主要原料として使用されます。
(3) 性能要件: 純度、サイズ、集積度などに対する高度な技術要件。
2. フラットパネルディスプレイのターゲット
(1) 共通ターゲット: この分野の共通ターゲットには、アルミニウム/銅/モリブデン/ニッケル/ニオブ/シリコン/クロムなどが含まれます。
(2) 用途: この種のターゲットは主に、テレビやノートパソコンなどのさまざまな種類の大面積フィルムに使用されます。
(3) 性能要件: 純度、大面積、均一性などに対する高い要件。
3. 太陽電池用ターゲット材料
(1) 共通ターゲット: アルミニウム/銅/モリブデン/クロム/ITO/Ta およびその他の太陽電池用ターゲット。
(2) 用途：主に「窓層」、バリア層、電極、導電膜に使用されます。
(3) 性能要件: 高い技術要件と幅広い応用範囲。
4. 情報の保管対象
(1) 共通ターゲット: コバルト/ニッケル/合金鉄/クロム/テルル/セレンおよび情報ストレージ用のその他の材料の共通ターゲット。
(2) 用途: この種のターゲット材料は主に磁気ヘッド、光ドライブや光ディスクの中間層、最下層に使用されます。
(3) パフォーマンス要件: 高い記憶密度と高い伝送速度が必要です。
5. ツール修正の対象
(1) 共通ターゲット: ツールによって修正されたチタン/ジルコニウム/クロム アルミニウム合金などの共通ターゲット。
(2) 用途：通常は表面強化に使用されます。
(3) 性能要件: 高い性能要件と長寿命。
6. 電子機器の対象
(1) 共通ターゲット：電子デバイス用の一般的なアルミニウム合金/シリサイドターゲット
(2) 用途：一般に薄膜抵抗器やコンデンサに使用されます。
(3) 性能要件: 小型、安定性、低い抵抗温度係数
投稿日時: 2022 年 7 月 27 日