ZnOマグネトロンスパッタリングターゲット材料のガラスコーティングへの応用

ZnO は、環境に優しく豊富な多機能ワイドバンドギャップ酸化物材料であり、一定量の縮退ドーピングの後、高い光電性能を備えた透明導電性酸化物材料に変換できます。フラットパネルディスプレイ、薄膜太陽電池、建築省エネ用Low-Eガラス、スマートガラスなどの光電子情報分野での応用が進んでいます。実際のZnOターゲットの応用例を見てみましょう。RSM編集者。

ZnOスパッタリングターゲット材料の太陽光発電コーティングへの応用

スパッタリングされた ZnO 薄膜は、Si 系および C プラス電池に広く使用されており、最近では親水性太陽電池にも有機太陽電池や HIT 太陽電池から得られ、広く使用されています。

ディスプレイデバイスのコーティングにおけるZnOターゲット材料の応用

これまで、数ある透明導電性酸化物材料の中で、マグネトロンスパッタリング法で成膜されたIT()薄膜系のみが、電気抵抗率が最も低く(1×10Ω・cm)、化学エッチング特性が良く、耐環境性にも優れた材料の主流となってきました。市販のフラットパネル用透明導電ガラス。これは、ITO の優れた電気特性によるものです。非常に薄い厚さ (30 ～ 200 nm) で、より低い表面抵抗とより高い光透過率を実現できます。

ZnOターゲット材料のインテリジェントガラスコーティングへの応用

近年、エレクトロクロミックデバイスやポリマー分散液体 I (PDLC) デバイスに代表されるスマートガラスがガラス深加工業界で広く注目を集めています。エレクトロクロミズムとは、外部電場の極性と強度の変化によって引き起こされる材料の可逆的な酸化または還元反応を指し、これにより色の変化が生じ、最終的には光または太陽放射エネルギーの動的な制御が実現されます。