コバルトマンガン合金スパッタリングターゲット

コバルトマンガン合金は暗褐色の合金で、Coは強磁性体、Mnは反強磁性体です。それらによって形成された合金は、優れた強磁性特性を持っています。純粋なCoに一定量のMnを導入すると、合金の磁気特性を改善するのに有益です。規則正しい Co 原子と Mn 原子は強磁性結合を形成することができ、Co Mn 合金は高い原子磁性を示します。コバルトマンガン合金は、摩擦や腐食に対する耐性があるため、鋼の保護コーティング材料として最初に広く使用されました。近年、固体酸化物形燃料電池の台頭により、コバルトマンガン酸化物皮膜が優れた材料として期待されています。現在、コバルトマンガン合金電着は主に水溶液に濃縮されています。水溶液電解は、価格が安く、電解温度が低く、エネルギー消費が少ないという利点があります。

RSM(Rich Special Materials Co.,LTD)では、高純度の材料を使用し、高真空下で合金化と脱ガスを行うことで、高純度かつ低ガス含有量のCoMnターゲットを製造しています。最大サイズは長さ1000mm、幅200mm、形状は平板、円柱、異形など自由自在です。製造プロセスには溶解と熱変形が含まれ、純度は最大 99.95% に達します。