一般的なセラミックターゲットの種類

電子情報産業の発展に伴い、ハイテク材料はシートから薄膜へと徐々に移行し、コーティング装置も急速に発展しています。ターゲット材はスパッタリング薄膜材料の元となる高付加価値の特殊電子材料です。セラミックスターゲット材は、非金属フィルム産業発展の基礎素材として、これまでにない開発が進められ、ターゲット材の市場規模は日々拡大しています。

　　セラミックターゲットには次の 2 種類があります。

(1) 化学組成に応じて、酸化物セラミックターゲット、ケイ化物セラミックターゲット、窒化物セラミックターゲット、フッ化物セラミックターゲット、硫化物セラミックターゲットなどに分けることができます。平面ディスプレイITOセラミックターゲットは中国で広く生産され、応用されています。高誘電絶縁膜用セラミックターゲットや巨大磁気抵抗セラミックターゲットには幅広い応用の可能性があります。

(2) 用途に応じて、半導体関連セラミックターゲット、ディスプレイセラミックターゲット、磁気記録セラミックターゲット、光記録セラミックターゲット、超電導セラミックターゲット、巨大磁気抵抗セラミックターゲットなどに分けることができます。

既存の複雑な電子製品製造におけるセラミックターゲットは、エンジニアリングのほんの一部を占めるに過ぎませんが、情報産業の基礎的なパイロット材料の役割を果たしています。国内セラミックプレーンターゲットは主に焼結と結合プロセスを選択し、顧客の要求に応じて最大長さ600mm、最大幅400mm、最大厚さ30mm、フィレット、ベベル、ステップおよびその他の特殊な形状の加工を生産できます。中国の電子情報産業の急速な発展に伴い、セラミックススパッタリングターゲットの需要は年々増加しています。将来的には、セラミックスパッタリングターゲットの研究開発は中国のターゲットサプライヤーにとって重要なテーマとなります。