一般的な金属ターゲットの種類

ご存知のとおり、ターゲット物質は高速荷電粒子のターゲット物質です。金属、合金、酸化物など、ターゲット材料には多くの類似点があります。使用される業界も異なり、幅広く使用されています。では、一般的な金属ターゲットとは何でしょうか?どのくらい知っていますか?RSM の専門家に共有してもらいましょう

　　一般的な金属ターゲットの種類は次のとおりです。

従来金属ターゲット：マグネシウムMg、マンガンMn、鉄Fe、コバルトCo、ニッケルNi、銅Cu、亜鉛Zn、鉛Pd、錫Sn、アルミニウムAl

小型金属ターゲット： インジウム In、Ge、Ga、Sb、Bi、Cd

高融点金属ターゲット：チタン Ti、ジルコニウム Zr、ハフニウム Hf、バナジウム V、ニオブ Nb、タンタル Ta、クロム Cr、モリブデン Mo、タングステン W、Re Re

貴金属ターゲット：金Au、銀Ag、パラジウムPd、プラチナPt、イリジウムIr、ルテニウムRu、ロジウムRh、オスミウムOs

半金属ターゲット： カーボンC、ホウ素B、テルルTe、セレンSe

希土類金属ターゲット: ガドリニウム Gd、サマリウム SM、ジスプロシウム Dy、セリウム CE、イットリウム y、ランタン La、イッテルビウム Yb、エルビウム Er、テルビウム TB、ホルミウム Ho、ツリウム TM、ネオジム ND、プラセオジム PR、ルテチウム Lu、ユーロピウム EU、スカンジウムSC

セラミックターゲット：亜鉛アルミニウム酸化物AZO、インジウム錫酸化物ITO、酸化亜鉛ZnO、アルミニウム窒素AlN、チタン窒素TIN、ホウ素窒素BN、バリウムチタンBaTiO3、ビスマスチタンBiTio3、炭化ケイ素SiC、ストロンチウムチタンSrTiO3、炭化チタンTiC、タングステン炭化物WC、ニオブリチウムLiNbO3

合金ターゲット：金錫合金AuSn、金ゲルマニウムニッケル合金AuGeNi、亜鉛アルミニウム合金ZnAl、アルミニウム銅合金AiCu、コバルト鉄ボロン合金CoFeB、鉄マンガン合金FeMn、イリジウムマンガン合金IrMn、ジルコニウムチタン合金ZrTi、ニッケルクロム合金NiCr、銅インジウムガリウム合金CuInGa、銅亜鉛錫硫黄合金CZTM。