銅ターゲットの主な技術知識を詳しく解説

ターゲットに対する市場の需要の高まりに伴い、合金ターゲット、スパッタリングターゲット、セラミックターゲットなど、ターゲットの種類も増えています。銅ターゲットに関する技術知識は何ですか?銅ターゲットの技術知識を共有しましょう。

　　1. 寸法と公差範囲の決定

実際のニーズに応じて、銅ターゲットには高精度の外観寸法が必要であり、顧客の要求に応じて特定の仕様と偏差を備えたターゲットが提供されます。

　　2. 純度要件

純度要件は主にお客様の用途に応じて、お客様のニーズへの満足度に基づいて決定されます。

　　3. 微細構造要件

① 粒径：ターゲットの粒径はターゲットのスパッタリング性能に影響を与えます。したがって、結晶粒度は主に顧客の使用要件に基づいており、ユーザーの要件を満たすために一連の鍛造熱処理が行われます。

② 結晶方向：銅ターゲットの構造特性に応じて、さまざまな成形方法が採用され、熱処理プロセスはユーザーの要件に応じて制御されます。

　　4. 外観品質要求事項

ターゲットの表面には、不適切な使用を引き起こす要因があってはならず、顧客の要件に従ってスパッタリングプロセスの品質が保証されなければなりません。

　　5. 溶接ボンド率の要件

スパッタリング前に銅ターゲットが他の材料と溶接されている場合、溶接後に超音波検査を実行して、両者の非結合領域が 95% 以上であることを確認し、脱落することなく高出力スパッタリングの要件を満たしていることを確認する必要があります。オールインワンタイプは超音波検査が不要です。

　　6. 内部品質要件

ターゲットの使用条件を考慮すると、ターゲットには気孔や介在物などの欠陥がないことが必要である。実際のニーズに応じてお客様との交渉により決定します。

ターゲットの表面に汚れや粒子が付着していないことを確認するためにターゲットを徹底的に洗浄した後、顧客の要求に応じて直接真空パックします。