次世代の大型望遠鏡には、堅牢で反射率が高く、均一で底面直径が 8 メートルを超えるミラーが必要です。
従来、蒸着コーティングでは、反射コーティングを効果的に蒸発させるために、広いソース範囲と高い蒸着速度が必要でした。さらに、面取り部の蒸発を防ぐために特別な注意を払う必要があります。蒸発により柱状構造が成長し、反射率が低下する可能性があります。
スパッタ コーティングは、大型基板上の単層および多層反射コーティングに適したソリューションを提供する独自の技術です。長距離スパッタリングは、広く使用されている半導体処理方法であり、スパッタリング コーティングと比較して、より高いコーティング密度と密着性が得られます。
この技術は、ミラーの曲率全体に沿って均一なカバレッジを作成し、マスキングを最小限に抑えます。しかし、長距離アルミニウムスパッタリングは、大型望遠鏡での効果的な応用はまだ見つかっていません。短焦点霧化は、ミラーの曲率を補正するために高度な機器の機能と複雑なマスクを必要とするもう 1 つの技術です。
この論文では、従来の前面アルミニウムミラーと比較して、ミラーの反射率に対する長距離スプレーパラメータの影響を評価するための一連の実験を実証します。
実験結果は、水蒸気の制御が耐久性と反射率の高いアルミニウム ミラー コーティングを作成するための主要な要素であることを示し、また、低水圧条件下での長距離スプレーが非常に効果的であることも示しています。
RSM（Rich Special Materials Co.,LTD.）は各種スパッタリングターゲットと合金棒を供給します
投稿日時: 2023 年 9 月 28 日