金属ターゲットの掃除方法

ターゲットの洗浄の目的は、ターゲットの表面にある可能性のある塵や汚れを除去することです。さて、Rich Special Materials Co., LTD. (RSM) の編集者が、金属ターゲットを洗浄するための 4 つのステップについて説明します。

最初のステップは、アセトンに浸した糸くずの出ない柔らかい布で拭きます。

2 番目のステップは、最初のステップと同様に、アルコールで洗浄します。

ステップ 3: 脱イオン水で洗浄します。純水で洗浄した後、オーブンに入れ、１００℃で３０分間乾燥させる。酸化物およびセラミックのターゲットは「糸くずの出ない布」で掃除する必要があります。

4 番目のステップでは、高圧および低水性ガスのアルゴンでターゲットを洗浄し、スパッタリング システム内でアークを形成する可能性のあるすべての不純物粒子を除去します。

注: ターゲットを取り扱うときは、清潔で糸くずの出ないメンテナンス用手袋を着用し、ターゲットが手で直接触れないようにしてください。