ターゲットの製造方法

ターゲットは電子情報産業でよく使用される材料の一種です。幅広い用途に使用されていますが、一般の人にはこの素材についてあまり知られていません。ターゲットの製造方法が気になる人も多いのでは？次に、RSM 技術部門の専門家がターゲットの製造方法を紹介します。

　　ターゲットの製造方法

1. 鋳造方法

鋳造法とは、合金原料を一定の組成比で溶解し、溶解後に得られる合金溶液を鋳型に流し込んでインゴットを形成し、機械加工を経てターゲットを形成する方法です。鋳造法は一般に真空中で溶解して鋳造する必要があります。一般的な鋳造方法には、真空誘導溶解、真空アーク溶解、真空電子衝撃溶解などがあります。その利点は、製造されるターゲットの不純物含有量が低く、高密度であり、大規模に製造できることです。欠点は、融点や密度に大きな差がある2種以上の金属を溶解する場合、従来の溶解方法では均一な組成の合金ターゲットを作製することが難しいことです。

　　2. 粉末冶金法

粉末冶金法とは、合金原料を一定の組成比で溶解し、溶解後に得られる合金溶液をインゴットに鋳造し、鋳造したインゴットを粉砕し、粉砕した粉末をプレス成形した後、高温で焼結してターゲットを形成する方法です。この方法で作成されたターゲットには、組成が均一であるという利点があります。欠点は、密度が低く、不純物含有量が高いことです。一般的に使用される粉末冶金産業には、冷間プレス、真空ホットプレス、熱間静水圧プレスが含まれます。