PVDマグネトロンスパッタリング真空成膜の注意点

ＰＶＤの正式名称は物理蒸着法であり、英語（ｐｈｙｓｉｃａｌ ｖａｐｏｒ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）の略である。現在、PVD には主に蒸着コーティング、マグネトロン スパッタリング コーティング、マルチ アーク イオン コーティング、化学気相成長などの形式が含まれます。一般に、PVD はグリーン環境保護産業に属します。他の産業に比べれば人体への被害は少ないですが、無いわけではありません。もちろん、それを効果的に減らすことも、完全に排除することもできます。PVDマグネトロンスパッタリング真空成膜の注意事項については、RSM編集部からのシェアを通じて、関連する専門知識をより正確に理解することができます。

　　PVDマグネトロンスパッタリング真空成膜については、以下の点に注意してください。

1. 放射線: 一部のコーティングでは RF 電源を使用する必要があります。電力が大きい場合は、シールドする必要があります。さらに、欧州の基準に従って、放射線を遮蔽するために、シングルルーム塗装機のドアフレームの周囲に金属線が埋め込まれています。

2. 金属汚染: 一部のコーティング材料 (クロム、インジウム、アルミニウムなど) は人体に有害であり、真空チャンバーの清掃中は粉塵汚染に特別な注意を払う必要があります。

3. 騒音公害: 特に一部の大型コーティング装置では、機械式真空ポンプの騒音が非常に大きいため、ポンプを壁の外側に隔離することができます。

4.光害：イオンコーティングのプロセスでは、ガスがイオン化して強い光を放出するため、観察窓から長時間見るのには適していません。

PVDマグネトロンスパッタリングコータの一般的な使用温度は0〜500℃の間で制御可能です。