RSMが対象材料を購入する際の注意事項を共有

多くのユーザーは専門的な観点からターゲットの購入を検討していませんが、ターゲットを購入する際には何に注意すべきでしょうか?北京如一の小辺氏に、ターゲットを購入する際に注意すべき事項を指摘してもらいましょう。

まず、ターゲットの場合、純度はその主要な機能指標の一つであり、ターゲットの純度はその後の製品フィルムの機能に大きな影響を与えます。各製品には、ターゲットの純度に関する異なる要件もあります。

第二に、ターゲット内の個々の元素の不純物含有量。一連のターゲット処理の後、ターゲット固体中の不純物、細孔内の酸素および水蒸気が、堆積膜の主な汚染源となります。ターゲットの用途が異なるため、用途が異なるターゲットの不純物含有量の要件も異なります。たとえば、半導体産業で使用される純アルミニウムおよびアルミニウム合金ターゲットには、現在、アルカリ金属および放射性元素の含有量に関して特別な要件があります。

密度もターゲットの重要な性能指標の一つです。ターゲットの技術プロセスにおいては、ターゲット固体中の細孔を減らし、スパッタ膜の機能を向上させるために、一般にターゲットの密度が高いことが要求されます。ターゲットの主な特性密度はスパッタリング速度に大きな影響を与え、膜の電気的および光学的機能に影響を与えます。ターゲット密度が高いほど、フィルムの機能は向上します。

最後に、粒子サイズと粒子分布です。通常、ターゲット材料は多結晶であり、粒径はミクロンからミリメートルの範囲に及びます。同じターゲットの場合、細粒ターゲットのスパッタリング速度は粗粒ターゲットのスパッタリング速度よりも速くなります。粒径差が小さい（均一分散）ターゲットスパッタリングで成膜した膜は、膜厚がより均一になります。