ガラスコーティング用スパッタリングターゲット

多くのガラスメーカーは新製品の開発を希望しており、ガラスコーティングのターゲットについて当社の技術部門にアドバイスを求めています。以下は、RSM の技術部門によって要約された関連知識です。

ガラス産業におけるガラスコーティングスパッタリングターゲットの用途は、主に低放射線コーティングされたガラスを製造することです。さらに、マグネトロンスパッタリングの原理を利用してガラス上に多層膜をスパッタリングし、省エネ、調光、装飾の役割を果たします。

低放射線コーティングガラスは、省エネガラスとも呼ばれます。近年、省エネと排出削減の強化、および生活の質の向上に伴い、伝統的な建築用ガラスは徐々に省エネガラスに置き換えられています。この市場の需要に後押しされて、ほぼすべての大手ガラス深加工企業がコーティングガラスの生産ラインを急速に増やしています。

これに伴い、ガラスコーティング用ターゲット材の需要も急速に高まっています。ガラスコーティング用のスパッタリングターゲット材料には、主にクロムスパッタリングターゲット、チタンスパッタリングターゲット、ニッケルクロムスパッタリングターゲット、シリコンアルミニウムスパッタリングターゲットなどが含まれます。さらなる詳細は次のとおりです。

クロムスパッタリングターゲット

クロムスパッタリングターゲットは、ハードウェアツールコーティング、装飾コーティング、フラットディスプレイコーティングに広く使用されています。ハードウェア コーティングは、ロボット ツール、旋削工具、金型 (鋳造、スタンピング) などのさまざまな機械的および冶金学的用途に使用されます。フィルムの厚さは2～10μmが一般的で、高硬度、低摩耗性、耐衝撃性、耐熱衝撃性、高密着性が求められます。現在、クロムスパッタリングターゲットはガラスコーティング業界で一般的に使用されています。最も重要な用途は、自動車のバックミラーの準備です。自動車用バックミラーの要件が高まるにつれ、多くの企業が元のアルミニウム処理プロセスから真空スパッタリングクロムプロセスに切り替えています。

チタンスパッタリングターゲット

チタンスパッタリングターゲットは、ハードウェアツールコーティング、装飾コーティング、半導体部品、フラットディスプレイコーティングで一般的に使用されます。集積回路を作製するためのコア材料の一つであり、通常99.99%以上の純度が要求されます。

ニッケルクロムスパッタリングターゲット

ニッケルクロムスパッタリングターゲットは、スポンジニッケルや装飾コーティング領域の製造に広く使用されています。真空中で蒸着すると、セラミック表面に装飾コーティングや回路デバイス製造のはんだ層を形成できます。

シリコンアルミニウムスパッタリングターゲット

シリコンアルミニウムスパッタリングターゲットは、半導体、化学蒸着（CVD）、物理蒸着（PVD）ディスプレイに適用できます。

ガラスのターゲット材料のもう 1 つの重要な用途は、主にクロム ターゲット、アルミニウム ターゲット、酸化チタン ターゲットなどを含む自動車バックミラーの製造です。自動車用バックミラーの品質要件が継続的に向上するにつれ、多くの企業が当初のアルミニウムめっきプロセスから真空スパッタリングクロムめっきプロセスに変更しました。

リッチスペシャルマテリアルズ株式会社（RSM）は、スパッタリングターゲットメーカーとして、ガラス用スパッタリングターゲットだけでなく、その他の分野のスパッタリングターゲットも提供しております。純金属スパッタリングターゲット、合金スパッタリングターゲット、セラミック酸化物スパッタリングターゲットなど。