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モリブデンスパッタリングターゲットの分類と用途

電子産業の総合的な性能と使用環境要件の向上に伴い、モリブデンスパッタリングターゲットも独自の性能を発揮します。モリブデンスパッタリングターゲットはあらゆる基材への成膜が可能です。電子部品や電子製品に広く使用されているスパッタリング膜です。モリブデンスパッタリングターゲットの用途は何ですか?以下は、共有する RSM のコンパイルです。

https://www.rsmtarget.com/

  モリブデンスパッタリングターゲットの分類

1. フラットターゲット

2、回転ターゲット

  モリブデンスパッタリングターゲットの製造工程:

冷間静水圧プレス – 中間周波炉による焼結 – 圧延機による圧延 – 機械加工 – 試験 – 製品を選択します。

  モリブデンスパッタリングターゲット材料の用途:

モリブデンターゲット材料は、導電性ガラス、STN/TN/TFT-LCD、光学ガラス、イオンコーティングなどの業界で広く使用されており、平面コーティングおよび回転コーティングのすべてのシステムに適しています。

これらは、高融点、高導電率、低比インピーダンス、優れた耐食性、優れた環境性能といったモリブデンの性能に基づいています。従来、フラットパネルディスプレイの配線材料はクロムが主流でしたが、フラットパネルディスプレイの大型化・高精細化に伴い、比インピーダンスの低い材料がますます求められています。

さらに、環境保護も考慮する必要があります。モリブデンは、クロムに比べてインピーダンスと膜応力がわずか 1/2 であり、環境汚染がないという利点があるため、フラット パネル ディスプレイのスパッタリングに適した材料の 1 つです。


投稿日時: 2022 年 6 月 28 日