チタンアルミニウム合金ターゲットの製造工程について詳しい知識はありますか？

現在、世界の主要なスパッタリングターゲットメーカーでは、アルミニウム合金スパッタリングターゲットの製造方法に2つの異なる方法があります。1つは、インゴットを製造するための鋳造方法を選択し、その後鋳造プロセスを行うことです。もう1つはスプレー成形で作られています。北京の編集者に、チタンアルミニウム合金ターゲットの製造プロセスについて共有させてください。常識は何ですか。

従来の鋳造・鋳造法では、アルミニウム合金スパッタリングターゲットを製造する際、合金元素の添加によりアルミニウム合金スパッタリングターゲットが偏析し、スパッタ膜の品質が低下したり、微粒子が発生したりすることがあった。スパッタリングターゲットの表面に欠陥が発生しやすく、膜特性の均一性にも影響を及ぼします。しかし、公知の溶射成形法を使用してアルミニウム合金スパッタリングターゲットを製造すると、上記の関連欠陥が発生する可能性があります。スパッタリングターゲットの製造コストが大幅に向上します。特に、鋳造が難しくホットプレスが必要なスパッタリングターゲットを製造する場合、ホットプレスを使用することでコストが向上します。

チタンアルミニウム合金ターゲットの製造プロセスを容易にし、コストを下げるために、ここではエアスプレーパウダーを使用してアルミニウム合金スパッタリングターゲットを製造する方法を紹介します。その原理は、合金組成比に応じてスパッタリングターゲットの原料粉末をエアスプレー法で製造し、合金粉末をふるい分けして適切な粉末粒径を得るというものです。最後に、粉末を真空ホットプレスしてアルミニウム合金スパッタリングターゲットを作成します。

このエアスプレー粉末によるアルミニウム合金スプラッシュターゲットの製造方法は、各種アルミニウム合金スプラッシュターゲット（アルミニウムクロム、アルミニウムシリコン銅、アルミニウムチタン等）の製造に使用することができる。好ましい実施手順は、アルミニウム合金スプラッシュターゲットを製造するための金属材料を供給し、それを溶解して金属溶融物とすること、次に、溶融金属をエアスプレー法により金属粉末にすること、および、最後に、真空ホットプレスにより金属粉末を成形してアルミニウム合金スパッタリングターゲットを作製し、メンテナンスガスとして不活性ガスを導入する。この方法により、データの偏析や微粒子欠陥を防止し、高品質のスパッタリングターゲットをより迅速かつ安価に製造することができます。