ターゲット材料が大面積コーティングの生産品質に与える影響は何ですか

　　現代の建物では、広い領域にガラス製の照明が使用され始めました。この側面により、部屋が明るくなり、視野が広がります。一方で、ガラスを通して伝わる熱は周囲の壁に比べて非常に高く、建物全体のエネルギー消費量が大幅に増加します。.

　　先進国における低放射線ガラスの利用率が90％以上であるのに比べ、中国におけるLow-Eガラスの普及率は約12％にすぎず、中国にはまだ開発の余地が多くあります。通常のガラスとオンラインLow-Eガラスを比較すると、オフラインLowEガラスの生産コストは高く、適用がある程度制限されます。国内のガラス加工企業はコーティング製品の生産コストを継続的に削減し、導入を加速する義務があり、エネルギーを節約し、環境を改善し、社会の持続可能な発展を達成します。

　　1、ターゲット形状の影響

　　コーティングの広い領域では、平面配向や回転配向などの形状に応じてターゲット材料が使用されることがよくあります。一般的な平面ターゲットには、銅ターゲット、銀ターゲット、Ni-Crターゲットとグラファイトターゲット。一般的な回転ターゲットには、亜鉛アルミニウムターゲット、亜鉛錫ターゲット、シリコンアルミニウムターゲット、錫ターゲット、酸化チタンターゲット、酸化亜鉛アルミニウムターゲットなどがあります。ターゲットの形状は、マグネトロンスパッタリングコーティングの安定性と膜特性、および利用率に影響します。的中率が非常に高い。ターゲットの形状計画を変更すると、コーティングの品質と生産力が向上し、コストが削減されます.

　　2、ターゲットの相対密度とクリアランスの影響

ターゲット内の相対密度は、ターゲットの理論密度に対する実際の密度の比であり、単一成分ターゲットの理論密度は結晶密度であり、合金または混合ターゲットの理論密度は理論密度に従って計算されます。各元素の密度と合金または混合物中の割合.。溶射機のターゲット配列は多孔質で酸素が多く含まれており (真空溶射であっても、合金ターゲット内での酸化物や亜硝酸化合物の生成は避けられません)、外観は灰色で金属光沢がありません。吸着された不純物と水分が主な汚染源です。

3、ターゲット粒子サイズと結晶方向の影響

同じ重量のターゲットでは、粒径の小さいターゲットの方が粒径の大きいターゲットよりも速くなります。これは主に飛沫の過程で粒子境界が侵入しやすく、粒子境界が多いほど成膜速度が速くなるからである。粒子径はスパッタリング速度に影響するだけでなく、成膜の品質にも影響します。例えば、EowE製品の製造工程において、NCrは赤外線反射層Agの維持層として機能し、その品質が膜形成に大きく影響します。コーティング製品。NiCr膜層は消衰係数が大きいため、一般に膜厚は薄い(3nm程度)。粒径が大きすぎるとスパッタリング時間が短くなり、膜層の緻密性が悪くなり、Ag層の維持効果が低下します。が減少し、コーティング生成物の酸化脱皮が引き起こされます。

　　結論

　　ターゲット材料の形状計画は主にターゲット材料の利用率に影響を与えます。合理的なサイズ計画により、ターゲット材料の利用率が向上し、コストを節約できます。粒子サイズが小さいほど、コーティング速度が速くなり、均一性が向上します。純度および密度が高いほど、気孔率が低くなり、膜品質が向上し、排出スラグの減少の可能性が低くなります。