ターゲットの品質に影響を与える要因は何ですか

　 産業技術の発展に伴い、ターゲットの品質がマグネトロンスパッタリング膜の性能に直接影響するため、工業生産に必要なターゲットの品質もますます高くなっています。現在、企業は一般にターゲットを購入する際、ターゲットの多重ステッチを減らし、スパッタリングコーティングの品質を向上させるために、スパッタリングコーティングに均一な組成構造を備えた高密度ターゲットを使用することを好みます。そのため、これにはターゲットのメーカーに厳密な要求があります。ターゲットの品質を管理します。さあ、北京の編集者に任せましょうリッチマットどのような要因がターゲットの品質に影響を与えるかを理解することができます.

1、ターゲットの品質に対するプロセスパラメータの影響

プロセスパラメータには主にコールドプレス圧力、加圧速度、脱型速度、その他のパラメータが含まれます。.ターゲットがコールドプレスされるとき、圧力はターゲットブランクの品質に直接影響します。加圧速度はターゲットブランクの成層に大きな影響を与え、粉末がネガ型に均一に充填された初期状態は気孔やガスが多く存在する緩い状態であり、ガスの排出には1～2秒の時間がかかります。時間。

2、の金型が目標品質に与える影響

金型もターゲットブランクの形成に一定の影響を与えます。主な影響要因には、金型の内側の表面仕上げ、パンチと金型キャビティの間のギャップなどが含まれます。ギャップが大きすぎると、粉流れや粉漏れが発生し、限界密度が低くなります。ブランクの低下、離型時のエッジ落ちなどの品質問題が発生します。　

3、材料の含水率がターゲットの品質に与える影響

　　対象材料の粉末に含まれる水分は潤滑剤の作用に相当し、その存在により粒子間の摩擦が軽減され、冷間プレスの圧力が効果的に伝達され、滑りや滑りが良くなります。粉末粒子間の再配列.ただし、水分含有量が少なすぎても多すぎても、対象物の品質に影響を与えます。

ITO粉末中の水分含有量が2%未満の場合、冷間プレス圧力やバインダー含有量などの他の条件が同じ場合、ターゲット材料のエッジ損失や層間剥離などの品質問題が発生する可能性が非常に高くなります。 ITO粉末中の含有量が10%を超えると、同じ冷間プレス圧力、バインダー含有量等の条件下では、粉末粒子が滑りやすく再配列しやすくなりますが、金型内部から水が排出され、落下の問題が発生します。ターゲット材料のブランクの周囲のエッジ。結果は、粉末の含水量が 3% ～ 6% の場合、ブランクの品質が効果的に制御されることを示しています。

4、バインダー含有量が目標品質に及ぼす影響

　　結合剤の配合量は、ターゲット材料の品質に大きな影響を与えます。配合量が１％未満の場合、ターゲットブランクの品質に非常に深刻な問題が発生し、このときバインダーの効果が発揮されず、ターゲットブランクの強度向上にほとんど効果がなくなる。結合剤の配合量を 2% および 3% に増やすと、ターゲット材料の強度が向上し、ターゲット材料の品質問題が大幅に軽減されます。しかしながら、バインダーを４％まで添加すると、ターゲット材料の冷間プレスブランクの品質上の問題はなくなるものの、その後の脱型プロセス中にターゲット材料が剥離する場合がある。