スパッタターゲット材とは

マグネトロンスパッタリングコーティングは新しい物理蒸着コーティング方法であり、以前の蒸着コーティング方法と比較して、多くの面でその利点は非常に顕著です。成熟した技術として、マグネトロン スパッタリングは多くの分野で応用されています。

　　マグネトロンスパッタリング原理:

スパッタリングされたターゲット極（カソード）とアノードの間に直交する磁場と電場が加えられ、必要な不活性ガス（通常はArガス）が高真空チャンバー内に充填されます。永久磁石はターゲット材表面に250～350ガウスの磁場を形成し、その直交電磁場と高電圧電場が合成されます。電場の影響下で、Arガスは陽イオンと電子にイオン化され、ターゲットと特定の負圧を持ち、磁場の影響により極からターゲットまでの作動ガスのイオン化確率が増加し、近くに高密度プラズマを形成します。陰極、Arイオンはローレンツ力の作用を受けて加速してターゲット表面に飛来し、高速でターゲット表面に衝突します。ターゲット上にスパッタされた原子は運動量変換の原理に従い、高い運動力でターゲット表面から飛び立ちます。基板堆積膜にエネルギーを与えます。

マグネトロンスパッタリングは大きく分けてDCスパッタリングとRFスパッタリングの2種類に分けられます。DCスパッタリング装置の原理はシンプルで、金属のスパッタリング速度が速いです。RF スパッタリングの使用は、導電性材料のスパッタリングに加えて、非導電性材料のスパッタリングだけでなく、酸化物、窒化物、炭化物やその他の複合材料の反応性スパッタリング調製にも幅広く使用されています。RFの周波数を高くするとマイクロ波プラズマスパッタリングになります。現在では、電子サイクロトロン共鳴（ＥＣＲ）方式のマイクロ波プラズマスパッタリング法が一般的に用いられている。

　　マグネトロンスパッタリングコーティングターゲット材質：

金属スパッタリングターゲット材、コーティング合金スパッタリングコーティング材、セラミックススパッタリングコーティング材、ホウ化物セラミックススパッタリングターゲット材、炭化物セラミックススパッタリングターゲット材、フッ化物セラミックススパッタリングターゲット材、窒化物セラミックススパッタリングターゲット材、酸化物セラミックスターゲット、セレン化物セラミックススパッタリングターゲット材、ケイ化物セラミックスパッタリングターゲット材、硫化物セラミックスパッタリングターゲット材、テルル化物セラミックスパッタリングターゲット、その他のセラミックターゲット、クロムドープ酸化ケイ素セラミックターゲット（CR-SiO）、リン化インジウムターゲット（InP）、ヒ化鉛ターゲット（PbAs）、ヒ化インジウムターゲット (InAs)。