AlTi合金スパッタリングターゲット高純度
アルミニウム チタン
スパッタコーティングのターゲット品質に対する要求は、従来の材料産業の要求よりも高くなります。ターゲットの均一な微細構造は、スパッタリング性能に直接影響します。徹底した品質管理体制を整えており、高純度の原料を選択し、均一になるよう徹底的に配合しています。真空ホットプレス法によりアルミニウム・チタン合金スパッタリングターゲットを製造します。
当社のアルミニウム チタン スパッタリング ターゲットは、優れた耐酸化性窒化物コーティングである窒化チタン アルミニウム (TiAlN) を提供します。TiAlNは切削工具や摺動部品、トライボコーティングなどの皮膜として現在主流となっています。高い硬度、靱性、耐摩耗性能、酸化温度を備えています。
弊社の典型的な AlTi ターゲットとその特性
| Ti-75Al at% | Ti-70Al at% | Ti-67Al at% | Ti-60Al at% | Ti-50Al at% | Ti-30Al at% | Ti-20Al at% | Ti-14Al at% | |
| 純度(%) | 99.7 | 99.7 | 99.7 | 99.7 | 99.8/99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 |
| 密度（グラム/センチメートル3） | 3.1 | 3.2 | 3.3 | 3.4 | 3.63/3.85 | 3.97 | 4.25 | 4.3 |
| G雨 サイズ(μm) | 100 | 100 | 100 | 100 | 100/- | - | - | - |
| プロセス | ヒップ | ヒップ | ヒップ | ヒップ | ヒップ/VAR | VAR | VAR | VAR |
リッチスペシャルマテリアルズはスパッタリングターゲットの製造を専門に行っており、お客様の仕様に応じてアルミニウムチタンスパッタリング材料を生産することができます。当社は、チューブ、アーク陰極、平面型またはカスタムメイドなど、さまざまな幾何学的形状、および幅広い比率のアルミニウムを供給できます。当社の製品は、優れた機械的特性、均質な微細構造、偏析、細孔、亀裂のない研磨された表面を特徴としています。詳細については、お問い合わせください。
