CrAl 合金のスパッタ リング ターゲットの高純度の薄膜 PVD コーティングのカスタムメイド
クロムアルミニウム
クロム アルミニウム スパッタリング ターゲットの製造は、次の手順で構成されます。
1. 粉末の粉砕と混合。
2. 熱間静水圧プレス処理により半製品を得る。
３．粗製のクロムアルミニウム合金スパッタリングターゲット材料を機械加工して、クロムアルミニウム合金スパッタリングターゲット材料を得る。
CrAl スパッタリング ターゲットの堆積プロセス中に、硬いアルミニウム クロム窒化物 (AlCrN) コーティングが形成されます。このコーティングは高温でも高い硬度と耐酸化性を示します。CNC マシンを使用する場合、カッターは高送りで動作するため、生産性が向上し、品質が向上します。
弊社の代表的な AlCr ターゲットとその特性
| Cr-70Alで％ | Cr-60Alで％ | Cr-50Alで％ | |
| 純度(%) | 99.8/99.9/99.95 | 99.8/99.9/99.95 | 99.8/99.9/99.95 |
| 密度（グラム/センチメートル3） | 3.7 | 4.35 | 4.55 |
| G雨 サイズ(μm) | 100/50 | 100/50 | 100/50 |
| プロセス | ヒップ | ヒップ | ヒップ |
リッチスペシャルマテリアルズはスパッタリングターゲットの製造を専門としており、お客様の仕様に応じてアルミニウムクロムスパッタリング材料を生産することができます。当社の製品は、優れた機械的特性、均質な構造、偏析、細孔、亀裂のない研磨された表面を特徴としています。詳細については、お問い合わせください。
