CrSi 合金のスパッタ リング ターゲットの高純度の薄膜 Pvd コーティングのカスタムメイド

クロム シリコン スパッタリング ターゲットの製造は次の手順で構成されます。
1.シリコンとクロムを真空溶解してステップアロイを得る。
2.粉末を粉砕し、包装し、真空にします。
3.熱間静水圧プレス処理により半製品を得る。
４．粗製のクロム−シリコン合金スパッタリングターゲット材料を機械加工して、クロム−シリコン合金スパッタリングターゲット材料を得る。

CrSi は高抵抗膜材料としてよく使用され、高抵抗、安定性、低い抵抗温度係数を特徴とします。クロムとシリコンは、Cr3Si 、Cr5Si3、CrSi 、CrSi2 などの多くのケイ化物相を生成する可能性があります。CrSi膜の製造プロセス、組成、熱処理プロセスはその性能に大きく影響します。

リッチスペシャルマテリアルズはスパッタリングターゲットの製造を専門としており、お客様の仕様に応じてクロニウムシリコンスパッタリング材料を生産することができます。詳細については、お問い合わせください。