FeAl スパッタ リング ターゲット高純度薄膜 Pvd コーティングのカスタムメイド

通常、鉄アルミニウム合金スパッタリングターゲットにはアルミニウムが6%〜16%含まれています。優れた磁気特性を示し、マイクロモーターの成膜によく使用されます。
鉄アルミニウム合金は、従来、厚さ 0.1 ～ 0.5 mm のストリップで入手可能でした。高い抵抗率、硬度、耐振動性、耐衝撃性を備え、低密度（6.5~7.2g/m3）を兼ね備えています。鉄アルミ板から作られた鉄心は渦電流損が少なく、軽量です。

鉄アルミニウム合金は、1J6 に分類されます。1J12.1J16、Jの後ろの数字はアルミニウムの含有量です。アルミニウム含有量が増加すると、材料の磁気伝導率と抵抗率が向上し、飽和磁気誘導が減少します。
リッチスペシャルマテリアルズはスパッタリングターゲットの製造を専門としており、お客様の仕様に応じて鉄・アルミニウムスパッタリング材料を生産することができます。詳細については、お問い合わせください。