FeCo スパッタ リング ターゲット高純度薄膜 Pvd コーティングのカスタムメイド

鉄コバルトスパッタリングターゲットは真空溶解によって製造され、幅広い割合範囲（コバルト含有量5％～70％）を持っています。コバルトと鉄は固溶体を形成する可能性があるため、これら 2 つの元素を合金化すると、均質な微細構造、均一な粒径、高純度、密度が得られます。優れた軟磁気特性により、データストレージ産業のさまざまな材料上に薄膜を堆積するために使用できます。

コバルト鉄合金は、多結晶ダイヤモンド (PCD) の製造において触媒としてよく使用されますが、そうしないと達成するにはさらに高い圧力と高温が必要になります。Co-Fe合金で製造されるダイヤモンドは強度と純度が高く、硬質切削工具や成形工具の材料となる可能性があります。

リッチスペシャルマテリアルズはスパッタリングターゲットの製造を専門としており、お客様の仕様に応じて鉄コバルトスパッタリング材料を生産することができます。詳細については、お問い合わせください。