TiAl スパッタ リング ターゲット高純度薄膜 Pvd コーティングのカスタムメイド
チタンアルミニウム
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チタンアルミニウムスパッタリングターゲットの説明
スパッタコーティングのターゲット品質に対する要求は、従来の材料産業の要求よりも高くなります。ターゲットの均一な微細構造は、スパッタリング性能に直接影響します。徹底した品質管理体制を整えており、高純度の原料を選択し、均一になるよう徹底的に配合しています。真空ホットプレス法によりチタンアルミニウム合金スパッタリングターゲットを製造します。
当社のチタン アルミニウム スパッタリング ターゲットは、優れた耐酸化性窒化物コーティングである窒化チタン アルミニウム (TiAlN) を提供します。TiAlNは切削工具や摺動部品、トライボコーティングなどの皮膜として現在主流となっています。高い硬度、靱性、耐摩耗性能、酸化温度を備えています。
弊社の代表的な TiAl ターゲットとその特性
| Ti-75Al at% | Ti-70Al at% | Ti-67Al at% | Ti-60Al at% | Ti-50Al at% | Ti-30Al at% | Ti-20Al at% | Ti-14Al at% | |
| 純度(%) | 99.7 | 99.7 | 99.7 | 99.7 | 99.8/99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 |
| 密度（グラム/センチメートル3） | 3.1 | 3.2 | 3.3 | 3.4 | 3.63/3.85 | 3.97 | 4.25 | 4.3 |
| G雨 サイズ(μm) | 100 | 100 | 100 | 100 | 100/- | - | - | - |
| プロセス | ヒップ | ヒップ | ヒップ | ヒップ | ヒップ/VAR | VAR | VAR | VAR |
チタンアルミニウムスパッタリングターゲットのパッケージング
当社のチタン アルミニウム スパッタ ターゲットには、効率的な識別と品質管理を確保するために、外部に明確にタグとラベルが付けられています。保管中や輸送中に発生する可能性のある損傷を避けるために細心の注意を払っています。
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RSM のチタン アルミニウム スパッタリング ターゲットは、超高純度で均一です。これらは、さまざまな形式、純度、サイズ、価格で入手できます。
当社は、チューブ、アーク陰極、平面型またはカスタムメイドなど、さまざまな幾何学的形状、および幅広い比率のアルミニウムを供給できます。当社の製品は、優れた機械的特性、均質な微細構造、偏析、細孔、亀裂のない研磨された表面を特徴としています。
当社は、金型コーティング、装飾、自動車部品、Low-E ガラス、半導体集積回路、薄膜などに使用される、優れた性能、最高の密度、可能な限り小さい平均粒子サイズを備えた高純度の薄膜コーティング材料の製造を専門としています。抵抗、グラフィックディスプレイ、航空宇宙、磁気記録、タッチスクリーン、薄膜太陽電池およびその他の物理蒸着（PVD）アプリケーション。リストにないスパッタリングターゲットおよびその他の蒸着材料の現在の価格についてはお問い合わせください。
