ZrSi合金スパッタリングターゲット高純度薄膜PVDコーティングカスタムメイド

ジルコニウム シリコン スパッタリング ターゲットは、真空溶解および粉末冶金によって製造されます。

ジルコニウムの存在により、硬度と耐食性が向上する可能性があります。

ジルコニウムシリコンターゲットは導電率が低く、残留応力を軽減できるため、コーティングの安定性が向上し、耐用年数が長くなります。このコーティングは、高い一貫性と耐食性を備えた Low-E ガラスに使用できます。

純粋なシリコンと比較して、高純度ジルコニウムシリコンスパッタリングターゲットは、堆積されたコーティングの摩擦抵抗を4〜6倍大幅に向上させることができます。

したがって、Zr-Si は多くの実用的な用途に利用できます。

リッチスペシャルマテリアルズはスパッタリングターゲットのメーカーであり、お客様の仕様に従ってジルコニウムシリコンスパッタリング材料を生産することができます。詳細については、お問い合わせください。